第436章 光刻机投入生產 我在游戏里炸沉了一艘米国航母
华为,深圳总部。
一栋没有掛牌的灰色建筑,从外面看,和普通写字楼没什么区別。
门口没有华为的標识,安保却严密得如同铁桶,进出需要人脸识別、虹膜验证和动態密码,三重认证。
建筑地下三层,是一间代號“崑崙“的秘密实验室。
实验室面积不大,约四百平方米,乾净得近乎无菌。
恆温恆湿控制系统將温度精確维持在22±0.1c,空气中的微粒数被控制在每立方米不超过100个。
实验室中央,一台银灰色的庞然大物静静矗立。
asml最新一代极紫外光刻机,euv。
这是江北在一个月前向龙国交付的第一台光刻机,经过拆卸、运输、重新组装和无数次调试后,它终於在这间地下实验室里运转了起来。
光刻机周围,十几名工程师围在一排监控屏幕前,屏幕上跳动著密密麻麻的数据流,曝光能量、晶圆对准精度、光刻胶厚度、数值孔径、焦深参数……
每一个数字都牵动著所有人的神经。
“流片开始。“项目负责人周博远深吸一口气,按下了启动键。
光刻机低沉地嗡鸣起来。
极紫外光以13.5纳米的波长,透过精密反射镜组,一层一层地將电路图案蚀刻在硅片上。
时间一分一秒地过去。
实验室里安静得只剩下设备运转的嗡嗡声和偶尔的键盘敲击声。
一个小时后。
第一片晶圆完成。
检测工程师赵琳將晶圆送入电子显微镜,开始逐区扫描检测。
屏幕上,晶片电路的结构图像一层层展开,如同在放大镜下观察一片精密的微缩森林。
赵琳的手指在键盘上飞快地敲击,统计著每一颗晶片的良品数据。
十分钟后,赵琳抬起头。
她的嘴唇微微颤了一下,“良品率……“赵琳声音有点发颤,“80.3%。“
实验室里安静了两秒,然后——
欢呼起来。
“成了!“
“80%!我们做到了!“
“天哪,80.3%!第一轮流片就到了80%!“
工程师们从座位上跳了起来,有人挥拳,有人鼓掌,有人紧紧拥抱在一起。
周博远站在原地,两眼死死盯著屏幕上的数字,愣了好几秒,然后缓缓地摘下眼镜,用衣袖擦了一下眼角。
80.3%。
晶片行业,超先进位程(2/3/5纳米)初期良品率在50%到70%之间属於可接受范围,稳定量產需要达到80%以上。
低於80%,意味著成本过高,难以盈利。
而他们,第一轮流片,就直接衝过了80%的大关。
这意味著什么?
意味著这台光刻机不仅运转正常,而且状態极佳。
意味著他们可以跳过漫长的良率爬坡阶段,直接进入量產准备。
意味著华为,有了自己的5纳米晶片製造能力。
周博远戴上眼镜,深吸了一口气,努力使自己平静下来:“通知总部,崑崙项目第一阶段目標达成,5纳米製程,良品率80.3%,具备量產条件。“