第390章 1nm光刻机问世,全世界第一片1nm晶圆流片成功了! 重生死胖子?一周逆袭成完美男神
整个车间像一台被按下启动键的精密机器,瞬间高速运转起来。
刘工顶著两个黑眼圈从地铺上爬起来,精神头比喝了十罐红牛还足,嘴里喊著“光源组准备就绪”。
陈工在物镜系统控制台前坐下,匯报说光学对准已锁定,偏移量低於零点几纳米。
张工盯著工件台的实时数据,確认运动控制精度稳定,雷射干涉仪读数纹丝不动。
比亚帝的老陈也在,带著几个老技工守在旁边隨时待命。
工具都整整齐齐码在手推车上,六角扳手从大到小排成一排。
王川福站在车间角落,双手抱胸,表情看似淡定,但攥紧的拳头和微微发抖的手指还是暴露了他的紧张。
流片流程严格到近乎苛刻。
晶圆被机械臂从真空存储柜中取出,送入光刻机腔体,每一步都按照预定的sop执行。
曹所长盯著总控台上密密麻麻的数据,眼睛都不敢眨,额头上全是细密的汗珠。
刘工在旁边不停地搓手。
陈工一直咬著嘴唇看光路监控。
张工每隔几秒就小声念一句“稳住了稳住了”。
老赵站在角落里,手里的平板差点被他捏碎。
江辰拿著平板站在总控台旁边,屏幕上实时同步著流片进度和各项关键参数。
他表情平静,偶尔在某个数据上多停留一两秒,然后继续看下一个。
没有人出声。
车间里安静得只剩下空气净化系统的低鸣和设备运行时有节奏的电子音。
不知过了多久。
总控台上的进度条终於走到了百分之百。
曹所长声音沙哑地念出最后一组数据,整个人像被抽空了力气一样往后一仰,瘫在椅子上,盯著天花板看了好一会儿,然后用一种近乎梦囈的语气说:
“首片晶圆流片成功。”
整个车间安静了足足三秒。
然后“轰”的一声炸了。
刘工第一个蹦起来,抱著旁边的张工又跳又叫,嗓子都劈叉了:
“成功了!我们成功了!”
“1nm!全世界第一片1nm晶圆!”
张工被他箍得快喘不过气,使劲拍他后背让他鬆手。
但自己也在那儿傻笑,眼镜都笑歪了。
陈工比较含蓄,只是摘下眼镜擦了擦眼角,但手抖得连眼镜布都拿不稳,擦了好几遍还没擦乾净。
最后索性不擦了,就这么红著眼眶看著屏幕上那些数据。
老赵更夸张,直接蹲在地上哭出来了。
抱著那个差点被他捏碎的平板,边哭边说:
“我这辈子值了,真的值了。”
曹所长从椅子上站起来,走到江辰面前,想说什么。
张了张嘴,发现嗓子哽得一个字都说不出来。
他伸出手想跟江辰握手,手伸到一半又收回去,在自己衣服上使劲擦了擦。
然后再次伸出去,双手握住江辰的手,用力到指节都发白了,声音沙哑得像砂纸磨在粗糲的表面:
“江院士,谢谢您。”
“我搞了这么多年光学工程,从来没想过有一天能亲手做出1nm光刻机。”
“这辈子值了,真的值了,死而无憾了。”
江辰握了握他的手,认真地看著他:
“曹所长,这台机器不是我一个人的功劳。”
“光源是你和刘工一点一点调试出来的,物镜系统是陈工他们熬了无数个通宵才做到的,工件台是老陈和比亚帝的技师们反覆打磨出来的。”
“我只是提供了方案,真正把它做出来的,是你们所有人。”
……